新創研が取り扱う
リソグラフィックガラス（LSG）
複雑な孔・溝加工ができる
１．通常のセラミックでは作製できない溝、孔を紫外線照射後エッジング処理すると、希望通りの形状に加工できる。
２．ロット生産化可能
しかも、微細加工精度は１ｍｍの板厚に０．０５ｍｍφのシャープな穴加工が可能
２．ロット生産化可能
しかも、微細加工精度は１ｍｍの板厚に０．０５ｍｍφのシャープな穴加工が可能
３種類の材質が選択可能
紫外線照射と熱処理により結晶化が生じ、３種類の材質にすることが可能です。結晶化するほど耐熱性、機械的強度、化学安定性が向上します。 高い熱膨張率で、無孔性材質（ガス透過性が少ない）のため安定性に優れています。
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項目
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透明ガラス
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半透明ガラス
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結晶化ガラス
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物理的特性（ ）はSI単位
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密度g/cm^3（kg/cm^3）
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2.365（2.365×10－3）
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2.380（2.380×10－3）
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2.407（2.407×10－3）
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熱的性質
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熱膨張係数１０^7/℃
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25～300℃
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84
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89
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103
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25～450℃
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99
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91
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105
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熱伝導率
cal cm/cm^2 sec℃ （W/mk） |
25℃
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0.0018(0.75)
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0.0037(1.55)
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0.0061(2.55)
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200℃
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0.0026(1.09)
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0.0035(1.46)
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0.0047(1.97)
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最高使用温度
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450℃
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550℃
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750℃
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最高常用温度
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350℃
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350℃
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500℃
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比熱
cal/g℃（J/kg K） |
25℃
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0.210(879)
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0.210(878)
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0.210(2.55)
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200℃
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0.275(1151)
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0.275(1149)
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0.275(1149)
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機械的性質
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ヤング率 105kg/cm^2（Gpa）
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7.84(7688)
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8.44（8277）
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8.88（8707）
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剪断弾性係数 105kg/cm^2（Gpa）
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3.21（3148）
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3.48（3143）
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3.73（3658）
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曲げ強度（研磨試料）kg/cm^2（Gpa）
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612（6002）
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851（8345）
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1513（14837）
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ポアソン比
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0.22
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0.21
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0.19
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ヌ－プ硬度（荷重 100kg）
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476
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480
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488
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電気的性質
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体積抵抗率
25℃1012Ωcm（×1014Ωcm） |
8.7（8.7）
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590(590)
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460（460）
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力率 1MHz
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20℃
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0.006
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0.003
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0.004
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200℃
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0.12
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0.014
|
0.014
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誘電率 1MHz
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20℃
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6.35
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6.18
|
5.9
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200℃
|
6.8
|
6.7
|
6.4
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損率 1MHz
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20℃
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0.0368
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0.0204
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0.0236
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絶縁耐力 KV/mm
（試料厚み 0.254mm，油中，DC ） |
177
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157
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173
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化学的耐久性 LS－G とYMH－７００（PW－04）との比較
重量損失mg/cm^2 day n/50Na2CO3 0.8～1.0 0.5～1.0
5%NaOH 3.6～5.6 4.0～6.0
5%HCl 0.08 0.01
重量損失mg/cm^2 day n/50Na2CO3 0.8～1.0 0.5～1.0
5%NaOH 3.6～5.6 4.0～6.0
5%HCl 0.08 0.01
塗膜硬化時間
各種グリッド パッケージ 各種冶具 回路基板 マイクロレンズアレイ フィルター等