リソグラフィックガラス

ＬＳＧ（リソグラフィックガラス）

複雑な孔・溝加工ができる

１．通常のセラミックでは作製できない溝、孔を紫外線照射後エッジング処理すると、希望通りの形状に加工できる。
２．ロット生産化可能
しかも、微細加工精度は１ｍｍの板厚に０．０５ｍｍφのシャープな穴加工が可能

３種類の材質が選択可能

紫外線照射と熱処理により結晶化が生じ、３種類の材質にすることが可能です。結晶化するほど耐熱性、機械的強度、化学安定性が向上します。 高い熱膨張率で、無孔性材質（ガス透過性が少ない）のため安定性に優れています。
項目
透明ガラス
半透明ガラス
結晶化ガラス
物理的特性（ ）はSI単位
密度g/cm^3（kg/cm^3）
2.365（2.365×10－3）
2.380（2.380×10－3）
2.407（2.407×10－3）
熱的性質
熱膨張係数１０^7/℃
25～300℃
84
89
103
25～450℃
99
91
105
熱伝導率
cal cm/cm^2 sec℃
（W/mk）
25℃
0.0018(0.75)
0.0037(1.55)
0.0061(2.55)
200℃
0.0026(1.09)
0.0035(1.46)
0.0047(1.97)
最高使用温度
450℃
550℃
750℃
最高常用温度
350℃
350℃
500℃
比熱
cal/g℃（J/kg K）
25℃
0.210(879)
0.210(878)
0.210(2.55)
200℃
0.275(1151)
0.275(1149)
0.275(1149)
機械的性質
ヤング率 105kg/cm^2（Gpa）
7.84(7688)
8.44（8277）
8.88（8707）
剪断弾性係数 105kg/cm^2（Gpa）
3.21（3148）
3.48（3143）
3.73（3658）
曲げ強度（研磨試料）kg/cm^2（Gpa）
612（6002）
851（8345）
1513（14837）
ポアソン比
0.22
0.21
0.19
ヌ－プ硬度（荷重 100kg）
476
480
488
電気的性質
体積抵抗率
25℃1012Ωcm（×1014Ωcm）
8.7（8.7）
590(590)
460（460）
力率 1MHz
20℃
0.006
0.003
0.004
200℃
0.12
0.014
0.014
誘電率 1MHz
20℃
6.35
6.18
5.9
200℃
6.8
6.7
6.4
損率 1MHz
20℃
0.0368
0.0204
0.0236
絶縁耐力 KV/mm
（試料厚み 0.254mm，油中，DC ）
177
157
173
化学的耐久性　LS－G とYMH－７００（PW－04）との比較
重量損失mg/cm^2　day　n/50Na2CO3 0.8～1.0　0.5～1.0
5%NaOH　3.6～5.6　4.0～6.0
5%HCl　0.08　0.01

塗膜硬化時間

各種グリッド　パッケージ　各種冶具　回路基板　マイクロレンズアレイ　フィルター等